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半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目

· 2022-11-21

采购状态

招标采购申请

采购计划信息

申报计划月份：

2022年10月份

计划编号：

JH202210302

申报部门：

集成电路学院

填表人：

***

填表时间：

2022-10-26

采购项目信息

采购项目(品目)名称：

低压化学气相沉积系统等设备采购

采购类型：

招标采购

预算：

38,602,000.00 元

采购方式：

公开招标(政府采购)

联系人：

***

联系电话：

***

备注：

招标设备信息

设备名称	类别	单价(元)	数量	需求时间
逻辑分析仪	实验室设备	56000.00	2 套	2022-11-20
集成电路测试系统	实验室设备	3300000.00	2 套	2022-11-20
多路数据采集仪	实验室设备	27800.00	2 套	2022-11-20
第三代半导体器件功率循环测试系统	实验室设备	880000.00	3 套	2022-11-20
SiC器件动态试验系统	实验室设备	1150000.00	1 套	2022-11-20
GaN器件寿命试验系统	实验室设备	1030000.00	2 套	2022-11-20
功率电源	实验室设备	21000.00	30 套	2022-12-30
实时频谱分析仪	实验室设备	46000.00	2 套	2022-11-20
单面对准光刻系统	实验室设备	550000.00	3 套	2022-11-30
微纳光电器件制备系统	实验室设备	1430000.00	1 套	2022-11-30
纳米压印系统	实验室设备	1024000.00	1 套	2022-11-30
湿法刻蚀与清洗系统	实验室设备	400000.00	1 套	2022-11-30
磁控溅射镀膜系统	实验室设备	780000.00	3 套	2022-11-30
低压化学气相沉积系统	实验室设备	3000000.00	1 套	2022-11-30
等离子体增强化学气相沉积系统	实验室设备	1985000.00	1 套	2022-11-30
反应离子刻蚀系统	实验室设备	885000.00	1 套	2022-11-30
光学显微镜	实验室设备	110000.00	2 台	2022-11-30
高真空电子束蒸发系统	实验室设备	1280000.00	2 套	2022-11-30
高精度拉伸测试仪	实验室设备	128400.00	1 台	2022-11-30
等离子去胶系统	实验室设备	140000.00	1 套	2022-11-30
等离子体增强化学气相沉积系统	实验室设备	1550000.00	1 套	2022-11-30
单片清洗系统	实验室设备	1050000.00	1 套	2022-11-30
感应耦合等离子刻蚀系统	实验室设备	2950000.00	1 套	2022-11-30
深硅刻蚀系统	实验室设备	3950000.00	1 套	2022-11-30

采购(招标)委托

委托编号：

WT2022101974

经费项目名称：

中央贴息贷款（学科）,

经费来源：

发展规划处,

支出科目代码：

000000,

设备用途：

科研

委托经办人：

***

联系电话：

***

方案附件：

***

招标项目信息
半导体微纳加工与表征实验室及集成电路设计与测试实验室建设项目 a7d5fa1f-9c7d-4017-b1fc-f1663ffa1d77
	项目招标编号：		GDUTBC20220167
	招标采购申请时间：		2022-10-17
	招标采购方式：		公开招标(政府采购)
	总预算（元）：		37,822,000.00
	招标代理机构：		广东有德招标采购有限公司
	收到初稿时间：
	招标文件审核时间：
	招标公告时间：
	开标时间：
	子包1：深硅刻蚀系统等设备
		招标执行信息：	1委托申请 2招标采购申请 3招标文件制作 4招标文件审核 5招标公告 6招标结果公告 7中标通知 8已签合同 9已供货 10已验收 11已付款
		预算（元）：	14,320,000.00
		招标结果：
		招标结果时间：
		投标供应商：
		中标供应商：
中标金额（元）：
中标联系人：
中标联系人手机：
收到中标通知书时间：
合同号：		***
签合同时间：		***
货期（天）：		***
预付款（元）：		***	0
应到货时间：		***
应验收时间：		***
应付款时间：		***
上传合同文件：		***
供货时间：		***
验收时间：		***
付款时间：		***
付款金额（元）：		***	0
备注：
子包2：高真空电子束蒸发系统等设备
	招标执行信息：	1委托申请 2招标采购申请 3招标文件制作 4招标文件审核 5招标公告 6招标结果公告 7中标通知 8已签合同 9已供货 10已验收 11已付款
	预算（元）：	7,062,400.00
	招标结果：
	招标结果时间：
	投标供应商：
	中标供应商：
	中标金额（元）：
	中标联系人：
	中标联系人手机：
	收到中标通知书时间：
	合同号：	***
	签合同时间：	***
	货期（天）：	***
	预付款（元）：	***	0
	应到货时间：	***
	应验收时间：	***
	应付款时间：	***
	上传合同文件：	***
	供货时间：	***
	验收时间：	***
	付款时间：	***
	付款金额（元）：	***	0
	备注：
子包3：集成电路测试系统等设备
	招标执行信息：	1委托申请 2招标采购申请 3招标文件制作 4招标文件审核 5招标公告 6招标结果公告 7中标通知 8已签合同 9已供货 10已验收 11已付款
	预算（元）：	13,339,600.00
	招标结果：
	招标结果时间：
	投标供应商：
	中标供应商：
	中标金额（元）：
	中标联系人：
	中标联系人手机：
	收到中标通知书时间：
	合同号：	***
	签合同时间：	***
	货期（天）：	***
	预付款（元）：	***	0
	应到货时间：	***
	应验收时间：	***
	应付款时间：	***
	上传合同文件：	***
	供货时间：	***
	验收时间：	***
	付款时间：	***
	付款金额（元）：	***	0
	备注：
子包4：单面对准光刻系统等设备
	招标执行信息：	1委托申请 2招标采购申请 3招标文件制作 4招标文件审核 5招标公告 6招标结果公告 7中标通知 8已签合同 9已供货 10已验收 11已付款
	预算（元）：	3,100,000.00
	招标结果：
	招标结果时间：
	投标供应商：
	中标供应商：
	中标金额（元）：
	中标联系人：
	中标联系人手机：
	收到中标通知书时间：
	合同号：	***
	签合同时间：	***
	货期（天）：	***
	预付款（元）：	***	0
	应到货时间：	***
	应验收时间：	***
	应付款时间：	***
	上传合同文件：	***
	供货时间：	***
	验收时间：	***
	付款时间：	***
	付款金额（元）：	***	0
	备注：

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