多束扫描透射电镜
· 2022-11-21
| 多束扫描透射电镜 | |
| 项目所在采购意向： | 复旦大学2022年12月政府采购意向 |
| 采购单位： | 复旦大学 |
| 采购项目名称： | 多束扫描透射电镜 |
| 预算金额： | 1450.000000万元(人民币) |
| 采购品目： | A02100301显微镜 |
| 采购需求概况： | 为满足全重支撑任务高通量显微检测设备的研究需求，需要购置多束扫描透射电镜。多束扫描透射电镜是各类芯片缺陷检测分析仪器中唯一可以实现亚10纳米分析的设备，同时可以进行高通量成像，对于半导体器件与芯片中5纳米制程极限的微观结构与缺陷检测分析具有至关重要的意义。同时对于半导体器件与芯片检测关键技术与装备领域具有指导借鉴意义，可以在此基础上研究电子光学系统，进而研制并行电子束检测装备，是急需的分析仪器。 |
| 预计采购时间： | 2022-12 |
| 备注： | |
本次公开的采购意向是本单位政府采购工作的初步安排，具体采购项目情况以相关采购公告和采购文件为准。
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